(3)电磁透镜的分辨本领 △。=A234C!4 (9-3) 口式中：A一常数；—照明电子束波长；C一透镜球差系数。 口ro的典型值约为0.25~0.3nm,高分辨条件下，ro可达约0.15nm
（3）电磁透镜的分辨本领 （9-3） 式中：A——常数；——照明电子束波长；Cs——透镜球差系数。 r0的典型值约为0.25~0.3nm，高分辨条件下，r0可达约0.15nm。 3 / 4 1/ 4 0 A Cs r =
2.照明系统 口作用：提供亮度高、相干性好、束流稳定的照明电子束。 组成：电子枪和聚光镜 可 钨丝 回 热电子源 电子源 LaB6 场发射源
2. 照明系统 作用：提供亮度高、相干性好、束流稳定的照明电子束。 组成：电子枪和聚光镜 钨丝 热电子源 电子源 LaB6 场发射源