二、构造 口TEM由照明系统、成像系统、记录系统、真空系统和电器系统组成
二、构造 TEM由照明系统、成像系统、记录系统、真空系统和电器系统组成
1.电磁透镜 口能使电子束聚焦的装置称为电子透镜(electron lens) 静电透镜 电子透镜 恒磁透镜 磁透镜 申磁透镜
1. 电磁透镜 能使电子束聚焦的装置称为电子透镜(electron lens) 静电透镜 电子透镜 恒磁透镜 磁透镜 电磁透镜
(1)电磁透镜的结构 冷却水进出 水冷面极靴孔径 电子束 电源 间 极靴 线暨 图9-3电磁透镜结构示意图
(1)电磁透镜的结构 图9-3 电磁透镜结构示意图
(2)电磁透镜的光学性质 (9-1) u v f 口式中:U、V与f一物距、像距与焦距。 f=A RVo N02 (9-2) 口式中:Vo一电子加速电压;R一透镜半径;NI一激磁线圈安匝 数;A—一与透镜结构有关的比例常数
(2)电磁透镜的光学性质 (9-1) 式中:u、v与f——物距、像距与焦距。 (9-2) 式中:V0——电子加速电压;R——透镜半径;NI——激磁线圈安匝 数;A——与透镜结构有关的比例常数。 2 0 (NI) RV f = A u v f 1 1 1 + =
电磁透镜是一种焦距(或放大倍数)可调的会聚透镜。减小激磁电流,可使 电磁透镜磁场强度降低、焦距变长(由变为)。 物平面 像平面(1》 像平面(2) 口▣成像电子在电磁透镜磁场中沿螺旋线轨迹运动,而可见光是以折线形 式穿过玻璃透镜。因此,电磁透镜成像时有一附加的旋转角度,称为 磁转角φ。物与像的相对位向对实像为180±0,对虚像为0
成像电子在电磁透镜磁场中沿螺旋线轨迹运动,而可见光是以折线形 式穿过玻璃透镜。因此,电磁透镜成像时有一附加的旋转角度,称为 磁转角。物与像的相对位向对实像为180,对虚像为。 电磁透镜是一种焦距(或放大倍数)可调的会聚透镜。减小激磁电流,可使 电磁透镜磁场强度降低、焦距变长(由f 1变为f 2)