中国科学技木大学物理系微电子专业 第一章半导体物理基础 §1-1半导体物理中基本概念 §1-2半导体材料特性 §1-3半导体能带论 §1-4平衡载流子和非平衡载流子 §1-5载流子输运理论 Principle of Semiconductor Devices 2023/4/10
Principle of Semiconductor Devices 中国科学技术大学物理系微电子专业 2023/4/10 Monday 1 第一章 半导体物理基础 §1-1 半导体物理中基本概念 §1-2 半导体材料特性 §1-3 半导体能带论 §1-4 平衡载流子和非平衡载流子 §1-5 载流子输运理论
中国科学技木大学物理系微电子专业 §1-1半导体物理中基本概念 载流子：电子与空穴 有效质量 ·费米能级与准费米能级 热平衡态与非平衡态 本征与掺杂 ·施主与受主 散射与碰撞 漂移与扩散 稳态与非稳态 Principle of Semiconductor Devices 2023/4/10 2
Principle of Semiconductor Devices 中国科学技术大学物理系微电子专业 2023/4/10 Monday 2 §1-1 半导体物理中基本概念 • 载流子：电子与空穴 • 有效质量 • 费米能级与准费米能级 • 热平衡态与非平衡态 • 本征与掺杂 • 施主与受主 • 散射与碰撞 • 漂移与扩散 • 稳态与非稳态
中国科学技木大学物理系微电子专业 §1-2半导体材料特性 晶格结构 。 密勒指数 载流子的概念 半导体器件理论基础 Principle of Semiconductor Devices 2023/4/10 3
Principle of Semiconductor Devices 中国科学技术大学物理系微电子专业 2023/4/10 Monday 3 §1-2 半导体材料特性 • 晶格结构 • 密勒指数 • 载流子的概念 • 半导体器件理论基础
中国科学技木大学物理系微电子专业 Resistivity p(a-cm】 10181016101410121010109 105 104 1021 102104 10610 T Germanium(Ge） Silver ●Glass Nickel oxide Silicon(Si) Copper (pure) Aluminum Diamond Gallium arsenide(GaAs) (pure) Gallium phosphide(GaP) Platinum .Sulfur Fused Cadmium sulfide(CdS) Bismuth quartz 1018 101610141012101010-8106 104 102 1 102104 105 105 Conductivity (S/cm) Insulator Semiconductor Conductor Principle of Semiconductor Devices 2023/4/10 4
Principle of Semiconductor Devices 中国科学技术大学物理系微电子专业 2023/4/10 Monday 4
中国科学技木大学物理系微电子专业 固体结构 Grain boundary Grain 0 0000000000 0 0 0 0 0000000000 0 0 0 0000000000 0 0000000000 8 0 0 0000000000 00 0000000000 0 00000Q000Q 8 000 0 0000000000 0 0000000000 Amorphous Polycrystalline Crystal Principle of Semiconductor Devices 2023/4/10 5
Principle of Semiconductor Devices 中国科学技术大学物理系微电子专业 2023/4/10 Monday 5 固体结构