电子无源充件工艺实验 电子学院 2020
电子无源元件工艺实验 电子学院 2020
课程目的 米 为了满足不同本科教育背景的研究生对材料科学实验操作 的要求，通过电子束蒸发镀膜实验、光刻实验，使学生掌 握基片清洗、金属蒸发、光刻胶涂覆、金属图形刻蚀等实 验过程，使学生掌握电子薄膜实验的基本技能，为研究生 期间的科学研究打下较好的实验基础。根据课程的实际内 容，加入适量的思政元素，积极引导当代学生树立正确的 国家观、民族观、历史观、文化观，从而为社会培养更多 德智体美劳全面发展的人才，为中国特色社会主义事业培 养合格的建设者和可靠的接班人
课程目的 为了满足不同本科教育背景的研究生对材料科学实验操作 的要求，通过电子束蒸发镀膜实验、光刻实验，使学生掌 握基片清洗、金属蒸发、光刻胶涂覆、金属图形刻蚀等实 验过程，使学生掌握电子薄膜实验的基本技能，为研究生 期间的科学研究打下较好的实验基础。根据课程的实际内 容，加入适量的思政元素，积极引导当代学生树立正确的 国家观、民族观、历史观、文化观，从而为社会培养更多 德智体美劳全面发展的人才，为中国特色社会主义事业培 养合格的建设者和可靠的接班人
第一部分 电子束蒸发镀膜实验
第一部分 电子束蒸发镀膜实验
真空蒸发镀膜法：将固体材料置于高真空环境中加热，使之升华或蒸发 并沉积在特定衬底上以获得薄膜的工艺方法 技术分类：依据蒸发源的不同 电阻热蒸发 电子束蒸发 真空蒸发技术 高频感应蒸发 激光束蒸发 反应蒸发
*简单的蒸发系统 00000 载片盘 蒸发金属 坩锅 工艺腔（钟罩) 高真空阀 机械泵 高真空泵
简单的蒸发系统