伴峰 口由于俄歇电子逸出固体表面时，有可能产生不连续的能量损失，从而 造成在主峰的低能端产生伴峰的现象。 口如：入射电子引起样品内壳层电子电离而产生伴峰（称为电离损失峰）： 又如：入射电子激发样品（表面）中结合较弱的价电子产生类似等离子 体振荡的作用而损失能量，形成伴峰（称等离子体伴峰）等
伴峰 由于俄歇电子逸出固体表面时，有可能产生不连续的能量损失，从而 造成在主峰的低能端产生伴峰的现象。 如：入射电子引起样品内壳层电子电离而产生伴峰(称为电离损失峰)； 又如：入射电子激发样品(表面)中结合较弱的价电子产生类似等离子 体振荡的作用而损失能量，形成伴峰(称等离子体伴峰)等
二、俄歇电子能谱仪 口主要组成部分：电子枪、能量 &-Y记录仪 分析器、二次电子探测器、 (样品)分析室、溅射离子枪 锁定放大器 和信号处理与记录系统等。 口样品和电子枪装置需置于10 7~10-8Pa的超高真空分析室中。 可旋转 样品台 电子枪 子倍增器 赋屏敲 电子分析悬 藏射高子枪 图13-3俄歇谱仪示意图
二、俄歇电子能谱仪 主要组成部分：电子枪、能量 分析器、二次电子探测器、 （样品）分析室、溅射离子枪 和信号处理与记录系统等。 样品和电子枪装置需置于10- 7~10-8Pa的超高真空分析室中。 图13-3 俄歇谱仪示意图
俄歇电子能谱仪发展 口初期的俄歇谱仪只能做定点的成分分析。 口70年代中，把细聚焦扫描入射电子束与俄歇能谱仪结合构成扫描俄歇 微探针(SAM),可实现样品成分的点、线、面分析和深度剖面分析。 口由于配备有二次电子和吸收电子检测器及能谱探头，使这种仪器兼有 扫描电镜和电子探针的功能
俄歇电子能谱仪发展 初期的俄歇谱仪只能做定点的成分分析。 70年代中，把细聚焦扫描入射电子束与俄歇能谱仪结合构成扫描俄歇 微探针(SAM)，可实现样品成分的点、线、面分析和深度剖面分析。 由于配备有二次电子和吸收电子检测器及能谱探头，使这种仪器兼有 扫描电镜和电子探针的功能
三、俄歇电子能谱分析 口1.定性分析 口任务：根据实测的直接谱（俄歇峰）或微分谱上的负峰的位置识别元素。 口方法：与标准谱进行对比。 口注意：由于电子轨道之间可实现不同的俄歇跃迁过程，所以每种元素 都有丰富的俄歇谱，由此导致不同元素俄歇峰的干扰。 口对于原子序数为3~14的元素，最显著的俄歇峰是由KLL跃迁形成的： 对于原子序数14~40的元素，最显著的俄歇峰则是由LMM跃迁形成的
三、俄歇电子能谱分析 1．定性分析 任务：根据实测的直接谱(俄歇峰)或微分谱上的负峰的位置识别元素。 方法：与标准谱进行对比。 注意：由于电子轨道之间可实现不同的俄歇跃迁过程，所以每种元素 都有丰富的俄歇谱，由此导致不同元素俄歇峰的干扰。 对于原子序数为3~14的元素，最显著的俄歇峰是由KLL跃迁形成的； 对于原子序数14~40的元素，最显著的俄歇峰则是由LMM跃迁形成的
Ac Ra Rn 85 80 75 R 图13-5俄歇电子能量图 70 Lu Yt Er H Tm 65 SmP 主要俄歇峰的能量用空心 60 匹C Nd 圆圈表示， 55 C 实心圆圈代表每个元素的 5 强峰 业 Mo SI Rb Br Se Kr N E 立i K S Na Ne Mg HeH 20040060080010001290140016001800200022002400 电子能量/eV
图13-5 俄歇电子能量图 主要俄歇峰的能量用空心 圆圈表示， 实心圆圈代表每个元素的 强峰