6.真空系统 口作用：确保电子光学系统正常工作、防止样品污染、保证灯丝的工作 寿命等
6．真空系统 作用：确保电子光学系统正常工作、防止样品污染、保证灯丝的工作 寿命等
SEM的主要性能 口 (1)放大倍数 可从20倍到20万倍连续调节。 口 （2)分辨率 口影响SEM图像分辨率的主要因素有： 口①扫描电子束斑直径； ②入射电子束在样品中的扩展效应； ③操作方式及其所用的调制信号： ④信号噪音比； ⑤杂散磁场； ⑥机械振动将引起束斑漂流等，使分辨率下降。 (3)景深 口SEM(二次电子像)的景深比光学显微镜的大，成像富有立体感
SEM的主要性能 （1）放大倍数 可从20倍到20万倍连续调节。 （2）分辨率 影响SEM图像分辨率的主要因素有： ①扫描电子束斑直径； ②入射电子束在样品中的扩展效应； ③操作方式及其所用的调制信号； ④信号噪音比； ⑤杂散磁场； ⑥机械振动将引起束斑漂流等，使分辨率下降。 （3）景深 SEM（二次电子像）的景深比光学显微镜的大，成像富有立体感
表22-2扫描电子显微镜景深 景 深 救大倍数 分辨率 视场 光学显徽镜 扫描电镜 (OM) (SEM) 0.2mm 100 mm 10 0.02mm 10 mm 1~10mm 100 2 gm 1 mm 0.1mm 0.1~1mm 1000 02m 0.1mm 1 gm 10-100m 10000 20 nm 10 pum 约1m 100000 2 nm 1 gm
表22-2 扫描电子显微镜景深
第二节像衬原理与应用 口一、像衬原理 口像的衬度就是像的各部分（即各像元）强度相对于其平均强度的变化。 口SEM可以通过样品上方的电子检测器检测到具有不同能量的信号电子 有背散射电子、二次电子、吸收电子、俄歇电子等
第二节 像衬原理与应用 一、像衬原理 像的衬度就是像的各部分(即各像元)强度相对于其平均强度的变化。 SEM可以通过样品上方的电子检测器检测到具有不同能量的信号电子 有背散射电子、二次电子、吸收电子、俄歇电子等