Precision and ultraprecision machining 密离线 姜春晓 2005年9月 2021/2/21
2021/2/21 姜春晓 2005年9月 Precision and ultraprecision machining 精密和超精密加工技术
糖印的额线 6。『精密测量技术概述 5长度基准 5测量平台 54直线度、平面度和垂直度的测量 56角度和圆分度的测量 50③圆度和回转精度的测量 57激光测量 2021/2/21
2021/2/21 5.1 精密测量技术概述 5.2 长度基准 5.3 测量平台 5.4 直线度、平面度和垂直度的测量 5.5 角度和圆分度的测量 5.6 圆度和回转精度的测量 5.7 激光测量 第5章 精密加工中的测量技术
精密测量的意义 精密测量技术是机械工业发展的基础和先决条件之一。由 于有了千分尺类量具,使加工精度达到了0.01mm,有了测 微比较仪,使加工精度达到了1ψm左右;有了圆度仪等精 密测量一起,使加工精度达到了0.1μm;有了激光千涉仪, 使加工精度达到了001m。 目前在基础工业的某些领域,精密测量已成为不可分割的 重要组成部分。在电子工业部门,精密测量技术也被提到从 未有过的高度。例如制造超大规模集成电路,目前半导体工 艺的典型线宽为0.25μm,正向0.18μm过渡,2009年的预 测线宽是007μmn。此外,在高纯度单晶硅的晶格参数测量 中,以及对生物细胞、空气污染微粒、石油纤维、纳米材料 等基础研究中,无不需要精密测量技术。 2021/2/21
2021/2/21 第1节 精密测量技术概述 精密测量技术是机械工业发展的基础和先决条件之一。由 于有了千分尺类量具，使加工精度达到了0.01mm，有了测 微比较仪，使加工精度达到了1µm左右；有了圆度仪等精 密测量一起，使加工精度达到了0.1µm；有了激光干涉仪， 使加工精度达到了0.01µm。 目前在基础工业的某些领域，精密测量已成为不可分割的 重要组成部分。在电子工业部门，精密测量技术也被提到从 未有过的高度。例如制造超大规模集成电路，目前半导体工 艺的典型线宽为0.25µm，正向0.18µm过渡，2009年的预 测线宽是0.07µm。此外，在高纯度单晶硅的晶格参数测量 中，以及对生物细胞、空气污染微粒、石油纤维、纳米材料 等基础研究中，无不需要精密测量技术。 一、精密测量的意义
精密测量的发展 1极高精度测量方法的测量仪器的发展 2精密在线自动测量技术的发展 3测量数据的自动采集处理技术的发展 三、精密测量的的环境条件 1.恒温条件 2:隔振条件 3.气压、自重、运动加速度和其他环境条件 四、量具和量仪材料的选择 1根据材料热膨胀系数选择 2.根据材料的稳定性和耐磨性选择 2021/2/21
2021/2/21 第1节 精密测量技术概述 三、精密测量的的环境条件 1.恒温条件 2.隔振条件 3.气压、自重、运动加速度和其他环境条件 四、量具和量仪材料的选择 1.根据材料热膨胀系数选择 2.根据材料的稳定性和耐磨性选择 一、精密测量的发展 1.极高精度测量方法的测量仪器的发展 2.精密在线自动测量技术的发展 3.测量数据的自动采集处理技术的发展
长度基准和米定义 米制是18世纪法国最早提出的,“以经过巴黎的地球子午线 自北极至赤道这一段弧长的一干万分之一为一米”。1880年国 际计量局又制作了30多根铂铱合金的高精度米尺—国际米原 百 1960年10月14日在巴黎通过用氦Kr36在真空中的波长作为长 度基准:1m=165076373XKr36的波长 1983年11月第17届国际计量大会上,批准了米的最新定义 新定义的内容:米是光在真空中在1/2997924585的时间 隔内所进行的路程长度。 2021/2/21
2021/2/21 一、长度基准和米定义 米制是18世纪法国最早提出的，“以经过巴黎的地球子午线 自北极至赤道这一段弧长的一千万分之一为一米” 。1880年国 际计量局又制作了30多根铂铱合金的高精度米尺——国际米原 器。 1960年10月14日在巴黎通过用氦Kr86在真空中的波长作为长 度基准：1m＝1650763.73xKr86的波长。 1983年11月第17届国际计量大会上，批准了米的最新定义。 新定义的内容：米是光在真空中在1/299 792 458 s的时间 间隔内所进行的路程长度。 第2节 长度基准