Precision and ultraprecision machining 密离线 姜春晓 2005年8月 2021/2/21
2021/2/21 姜春晓 2005年8月 Precision and ultraprecision machining 精密和超精密加工技术
教材:袁哲俊、王先逵主编 《精密和超精密加工技术》机械工业岀版社 >学时:50 课程安排:机032 >周三上午1、2节 >周五上午3、4节(单周) 参考材料: 1、张建华主编《精密与特种加工技术》 2、於贻琛《精密机床》 2021/2/21
2021/2/21 教材：袁哲俊、王先逵主编 《精密和超精密加工技术》机械工业出版社 ➢ 学时：50 ➢ 课程安排：机032 ➢ 周三上午1、2节 ➢ 周五上午3、4节（单周） 参考材料： 1、张建华主编《精密与特种加工技术》 2、於贻琛《精密机床》
美漫 Lo精密和超精密加工的技术闵涵 精密和趋精密加工技术的地位与作用 。精密和掐精密加工的需范 Lo超精密加工现状及发展趋势 2021/2/21
2021/2/21 1.1 精密和超精密加工的技术内涵 1.2 精密和超精密加工技术的地位与作用 1.3 精密和超精密加工的需求 1.4 超精密加工现状及发展趋势 第1章 精密和超精密加工 技术及其发展
精密和超精密加工的加工范畴 精密和超精密加工代表了加工精度发展的不同阶 段,通常,按加工精度划分,可将机械加工分为一般 加工、精密加工、超精密加工三个阶段。 精密加工:加工精度在0.1~1μm,加工表面粗糙 度在Ra0.02~01μm之间的加工方法称为精密加工 超精密加工:加工精度高于01μm,加工表面粗糙 度小于Rao01ψm之间的加工方法称为超精密加工( 微细加工、超微细加工、光整加工、精整加工等) 2021/2/21
2021/2/21 精密和超精密加工的加工范畴 ➢精密和超精密加工代表了加工精度发展的不同阶 段，通常，按加工精度划分，可将机械加工分为一般 加工、精密加工、超精密加工三个阶段。 ➢精密加工：加工精度在0.1～1µm，加工表面粗糙 度在Ra0.02～0.1µm之间的加工方法称为精密加工； ➢超精密加工：加工精度高于0.1µm，加工表面粗糙 度小于Ra0.01µm之间的加工方法称为超精密加工（ 微细加工、超微细加工、光整加工、精整加工等 ） 。 1.1 精密和超精密加工的技术内涵
精密和超精密加工方法分类(1) 分类 加工机理 加工方法 化学分解(气体、液体、固体)刻蚀(曝光),化学抛光,软质粒子机械化学抛光 电解(液体) 电解加工,电解抛光 去除加工 蒸发(真空、气体) 电子束加工,激光加工,热射线加工 扩散(固体) 扩散去除加工 熔化(液体) 熔化去除加工 溅射(真空) 粒子束溅射去除加工,等离子体加工 化学附着 化学镀,气相镀 氧化,氮化 电化学附着 电镀、电铸 电化学结合 阳极氧化 结合加工 热附着 蒸镀(真空蒸镀),晶体生长,分子東外延 扩散结合 烧结,掺杂,渗碳 熔化结合 浸镀,熔化镀 物理附着 贱射沉淀,离子沉淀(离子镀) 子溅射注入加工 热表面流动 热流动加工(高频电流、热射流、电子束、激光) 粘滞性流动 液体、气体流动加工(压铸、挤压、喷射、浇铸) 变形加工 摩擦流动 微粒子流动加工
2021/2/21 1.1 精密和超精密加工的技术内涵 精密和超精密加工方法分类（1） 分 类 加工机理 加工方法 去除加工 化学分解（气体、液体、固体） 电解（液体） 蒸发（真空、气体） 扩散（固体） 熔化（液体） 溅射（真空） 刻蚀（曝光），化学抛光，软质粒子机械化学抛光 电解加工，电解抛光 电子束加工，激光加工，热射线加工 扩散去除加工 熔化去除加工 粒子束溅射去除加工，等离子体加工 结合加工 化学附着 化学结合 电化学附着 电化学结合 热附着 扩散结合 熔化结合 物理附着 注入 化学镀，气相镀 氧化，氮化 电镀、电铸 阳极氧化 蒸镀（真空蒸镀），晶体生长，分子束外延 烧结，掺杂，渗碳 浸镀，熔化镀 溅射沉淀，离子沉淀（离子镀） 离子溅射注入加工 变形加工 热表面流动 粘滞性流动 摩擦流动 热流动加工（高频电流、热射流、电子束、激光） 液体、气体流动加工（压铸、挤压、喷射、浇铸） 微粒子流动加工