二、典型机床简介 hemo公司的MSG-325超精密车床 采用T形布局,机床空气主轴的径向圆跳动和轴向 跳动均小于等于0.05μm。床身溜板用花岗岩制造,导 轨为气浮导轨;机床用滚珠丝杠和分辨率为001um的 双坐标精密数控系统驱动,用HP5501A双频激光干涉似 精密检测位移 2021/2/21
2021/2/21 二、典型机床简介 Pneumo 公司的MSG-325超精密车床 采用T形布局，机床空气主轴的径向圆跳动和轴向 跳动均小于等于0.05μm。床身溜板用花岗岩制造，导 轨为气浮导轨；机床用滚珠丝杠和分辨率为0.01μm的 双坐标精密数控系统驱动，用HP5501A双频激光干涉仪 精密检测位移
二、典型机床简介 DTM-3大型超精密车床 采用精密数控伺服方 式,控制部分为内装式 CNC装置和激光干涉测长 仪,精确测量定位,在 DC伺服机构内装有压电 微位移机构,实现纳米 级微位移。 图4-4美LLL实验室的3号大型 超精密车床(DTM-3)外观图 2021/2/21
2021/2/21 二、典型机床简介 DTM-3大型超精密车床 采用精密数控伺服方 式，控制部分为内装式 CNC装置和激光干涉测长 仪，精确测量定位，在 DC伺服机构内装有压电 微位移机构，实现纳米 级微位移
二、典型机床简介 大型光学金刚石车床 LODTM 机床采用立式结构,采用止 推轴承,7路高分辨力双频激光 测量系统,4路激光检测横梁上 溜板的运动,3路激光检测刀架 上下运动位置,使用在线测量 图4-5美国LLL实验室的大型光学金刚石车床( LODTM) 1)主轴 和误差补偿,各发热部件用大 x向(径向) 0.025gm z向(轴向 0.051gm 量恒温水冷却,用大的地基 50r/min时的主轴回转误差(PV值) x向(径向) 地基周围有防振沟,且整个机 向(轴向) 2)直线定位误差(PV值) 床用4个大空气弹簣支承。 x向(径向) z向(轴向) 3)导轴运动直线度误差(PV值) 向(径向) 向(轴向 P 4)激光测量系统综合误差 向(径向 2021/2/21
2021/2/21 二、典型机床简介 大型光学金刚石车床LODTM 机床采用立式结构，采用止 推轴承，7路高分辨力双频激光 测量系统，4路激光检测横梁上 溜板的运动，3路激光检测刀架 上下运动位置，使用在线测量 和误差补偿，各发热部件用大 量恒温水冷却，用大的地基， 地基周围有防振沟，且整个机 床用4个大空气弹簧支承
二、典型机床简介 oAGM2500大型超精密机床 z向 机床的x和y向导轨采用液 体静压,z向的磨轴头和 测量头采用空气轴承。床 身采用型钢焊接结构,用 精密数控驱动,双频激光 测量系统检测运动位 图4-6英 Cranfield公司的OAGM2500大型超精密机床 工作台2-测量基准架3-测头4-y向参考光束 5-溜板龙门架6-砂轮轴 2021/2/21
2021/2/21 二、典型机床简介 OAGM 2500大型超精密机床 机床的x和y向导轨采用液 体静压，z向的磨轴头和 测量头采用空气轴承。床 身采用型钢焊接结构，用 精密数控驱动，双频激光 测量系统检测运动位置
二、典型机床简介 AHNO型高效专用车削、磨削超精密机床 有一个x和y向调整的刀 架及作B轴转动的高精度 转台,借助三轴精密数 控,加工平面、球面和 非球曲面 采用空气轴承,刀架设( HG 计滑板结构,直线移动与 分辨力0.01μm,激光测 量反馈,定位精度全行 程0.03μm。 图4-7日本AHN10型机床磨模具情况 加工模具形状精度0.05 1—主轴2—磨头主轴3—工件4—砂轮5-刀架 um,表面粗糙度0025m 2021/2/21
2021/2/21 二、典型机床简介 AHNIO型高效专用车削、磨削超精密机床 有一个x和y向调整的刀 架及作B轴转动的高精度 转台，借助三轴精密数 控，加工平面、球面和 非球曲面。 采用空气轴承，刀架设 计滑板结构，直线移动 分辨力0.01μm，激光测 量反馈，定位精度全行 程0.03μm。 加工模具形状精度0.05 μm，表面粗糙度0.025μm