三、ICP-AES的原理 principle and feature of ICP-AES ICP是由高频发生器和等离子体炬管组成。 1.晶体控制高频发生器 石英晶体作为振源， 经电压和功率放大，产生 具有一定频率和功率的高 频信号，用来产生和维持 等离子体放电。 石英晶体固有振荡频 晶控高频发生器原理图 率：6.78MHz,二次倍频后 1一石英振荡器(6.78MHz):2一一次倍颍 (13.56MHz),3-二次倍频(27.12MHz),4一放 为27.120MHz,电压和功率 大器；5一功率放大器；6一耦合器：7一感应圈； 放大后，功率为1-2kW: 8一输出功率计；9一负反馈放大器；10一电源 2024/9/28
2024/9/28 三、 ICP-AES的原理 principle and feature of ICP-AES ICP是由高频发生器和等离子体炬管组成。 1. 晶体控制高频发生器 石英晶体作为振源， 经电压和功率放大，产生 具有一定频率和功率的高 频信号，用来产生和维持 等离子体放电。 石英晶体固有振荡频 率：6.78MHz，二次倍频后 为27.120MHz,电压和功率 放大后，功率为1-2kW；
2. 炬管与雾化器 等离子体焰炬 三层同心石英玻璃 高频感应线圈 炬管置于高频感应线圈 中，等离子体工作气体 从管内通过，试样在雾 石英炬管 等离子体气流 化器中雾化后，由中心 辅助气流 管进入火焰： 外层Ar从切线方向 雾化器 进入，保护石英管不被 烧熔，中层A如r用来点燃 等离子体； 废液 2024/9/28
2024/9/28 2. 炬管与雾化器 三层同心石英玻璃 炬管置于高频感应线圈 中，等离子体工作气体 从管内通过，试样在雾 化器中雾化后，由中心 管进入火焰； 外层Ar从切线方向 进入，保护石英管不被 烧熔，中层Ar用来点燃 等离子体；