光学显微镜和电镜光路图比较 请看下页
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光源 电子枪 聚光镜 聚光镜 试样 试样 物镜 物镜 中间象 中间象 目镜 投影镜 毛玻璃 观察屏 照相底板 照相底板
光源 中间象 物镜 试样 聚光镜 目镜 毛玻璃 电子枪 聚光镜 试样 物镜 中间象 投影镜 观察屏 照相底板 照相底板
电子光学系统 ·包括：照明系统 成像系统 观察记录系统 。2.1.1照明系统 ·组成：电子枪 聚光镜 平移对中、倾斜调节装置组成
电子光学系统 • 包括：照明系统 成像系统 观察记录系统 • 2.1.1 照明系统 • 组成：电子枪 聚光镜 平移对中、倾斜调节装置组成
透射电子显微镜放大原理 电子枪 聚光镜 样品室 物镜 中间镜（多个） 投影镜 荧光屏 照相室（底片) 或数字暗室
聚光镜 电子枪 物镜 样品室 中间镜（多个） 投影镜 荧光屏 照相室（底片） 或数字暗室 透射电子显微镜放大原理
(一)照明系统 ◆组成：由电子枪、聚光镜（1、2级)和相应的平移对中、倾 斜调节装置组成。 ◆作用：提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度高、束斑小 、束流稳定的照明源。为满足明场和暗场成像需要，照明束可 在20-30范围内倾斜。 1.电子枪 ◆作用是发射并加速电子，并会聚成交叉 阴极（灯丝） 点。 栅极 ◆目前电子显微镜使用的电子源有两类： 负高压 偏压电阻 ●热电子源一加热时产生电子，W丝， 等电位面 LaB6 阴极 ·场发射源—在强电场作用下产生电子 极 阳极 ◆热阴极电子源电子枪的结构如右图所示 阳极 ,形成自偏压回路，栅极和阴极之间存在 电子枪交叉点 数百伏的电位差。电子束在栅极和阳极间 会聚为尺寸为0的交叉点，通常为几十 a) b) um。栅极的作用：限制和稳定电流
(一) 照明系统 ◆组成：由电子枪、聚光镜（1、2级）和相应的平移对中、倾 斜调节装置组成。 ◆作用：提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度高、束斑小 、束流稳定的照明源。为满足明场和暗场成像需要，照明束可 在20-30范围内倾斜。 1. 电子枪 ◆作用是发射并加速电子，并会聚成交叉 点。 ◆目前电子显微镜使用的电子源有两类： ⚫热电子源——加热时产生电子，W丝， LaB6 ⚫场发射源——在强电场作用下产生电子 ◆热阴极电子源电子枪的结构如右图所示 ，形成自偏压回路，栅极和阴极之间存在 数百伏的电位差。电子束在栅极和阳极间 会聚为尺寸为d0的交叉点，通常为几十 um。 栅极的作用：限制和稳定电流。 热阴极电子源电子枪的 结构如图所示，形成自偏 压回路，栅极和阴极之间 存在数百伏的电位差。电 子束在栅极和阳极间会聚 为尺寸为d0 的交叉点，通 常为几十um。 栅极的作用： 限制和稳定电流