《X射线光电子能谱学》 X-Ray Photoelectron Spectroscopy 麻茂生 中国科学技术大学理化科学实验中心 合肥微尺度物质科学国家实验室（筹） 仁肥牧耳及物質锌学图家簧治岁（筹） HEFEI NATIONAL LABORATORY POR PHYSICAL CES AT MICROSCALE
《X射线光电子能谱学》 X-Ray Photoelectron Spectroscopy 中国科学技术大学理化科学实验中心 合肥微尺度物质科学国家实验室(筹) 麻茂生
课程目的 口X射线光电子能谱学的基本物理原理？ 口X射线光电子能谱能解决什么问题？ 口X射线光电子能谱图怎样识别？ 口X射线光电子能谱实验要注意那些问题？ 左肥徵B度的質锌学图家簧绘出（筹） HEPEI NATIONAL LABORATOR￥FOPIHY51 CAL SCIENC里S AT MICROSCALI
课程目的 pX射线光电子能谱学的基本物理原理？ pX射线光电子能谱能解决什么问题？ pX射线光电子能谱图怎样识别？ pX射线光电子能谱实验要注意那些问题？
主要内容(Outline ● 第一章X射线光电子能谱基本原理 第二章结合能与化学位移 ● 第三章电子能谱仪构造 ●第四章谱图一般特征 ● 第五章定性分析方法 第六章定量分析和深度剖析方法 第七章数据处理方法 第八章在材料科学中的应用 名肥批男度的質锌学图家簧绘岁（筹） HEFEI NATIONAL LADORATORY FOR PHYSICAL SCEENCES AT MICROSCAL
主要内容(Outline) l 第一章 X射线光电子能谱基本原理 l 第二章 结合能与化学位移 l 第三章 电子能谱仪构造 l 第四章 谱图一般特征 l 第五章 定性分析方法 l 第六章 定量分析和深度剖析方法 l 第七章 数据处理方法 l 第八章 在材料科学中的应用
第1章X射线光电子能谱基本原理 1. X射线光电子能谱及其特性 2. 电子能级及其表示 3. 光电效应 4. 俄歇效应 5. 表面与表面灵敏性 左肥钱男度的質锌学图家簧绘當（筹） HEPEI NATIONAL LABORATOR￥FOPIHY51 CAL SCIENC里S AT MICROSCALI
第1章 X射线光电子能谱基本原理 1. X射线光电子能谱及其特性 2. 电子能级及其表示 3. 光电效应 4. 俄歇效应 5. 表面与表面灵敏性
1.1、X射线光电子能谱及其特性 X射线光电子能谱(X-Ray Photoelectron Spectroscopy),简称XPS,别称ESCA ● X射线光电子能谱学是最近四十年来发展起 来的一门独立完整的综合性学科。它与多种 学科相互交叉，融合了物理学，化学，材料 学，真空电子学，以及计算机技术等多学科 领域。 ●它是研究原子，分子和固体材料的有力工具 名肥批男度的質学图家簧绘岁（筹） EFEE NATIONAL LADORATORY
1.1、X射线光电子能谱及其特性 l X射线光电子能谱(X-Ray Photoelectron Spectroscopy)，简称XPS，别称ESCA l X射线光电子能谱学是最近四十年来发展起 来的一门独立完整的综合性学科。它与多种 学科相互交叉，融合了物理学，化学，材料 学，真空电子学，以及计算机技术等多学科 领域。 l 它是研究原子，分子和固体材料的有力工具