晶面及相关指数 由于晶体是由无数晶格规则排列而成，因此可以 作出许多相互平行的平面 把这样任意的平面称为晶面。为了能够在特定性 质的晶体中指定主方向和平面， 常用的指定晶面和晶向的方法是密勒指数 晶面指数(indices of crystal face)是晶体的常 数之一，是晶面在3个结晶轴上的截距系数的倒 数比，当化为最简单的整数比后，所得出的3个 整数称为该晶面的米勒指数(Miller index),晶 面用符号k表示
• 由于晶体是由无数晶格规则排列而成，因此可以 作出许多相互平行的平面。 • 把这样任意的平面称为晶面。为了能够在特定性 质的晶体中指定主方向和平面， • 常用的指定晶面和晶向的方法是密勒指数 • 晶面指数（indices of crystal face）是晶体的常 数之一，是晶面在3个结晶轴上的截距系数的倒 数比，当化为最简单的整数比后，所得出的3个 整数称为该晶面的米勒指数（Miller index），晶 面用符号(hkl)表示
由于金刚石结构的对称性，每一类型的晶面组有着相同的面 间距、面密度和质点分布，称其为等同晶面。按规定用hk) 表示晶面。每一种晶面是一个族，用hk表示族。在立方晶 系中，各族包括的晶面为：{100含6个等同晶面，{110}含 有12个等同晶面，{111}含有8个等同晶面。 如 {100}=(100)、(100)、(010)、(010)、(001)、(001)共六个面： 晶向是指晶列组的排列方向，用符号[mnp]表示晶向，其中 m、n、p称为晶向指数。在一些晶体中，有些晶列组是不同 的，但它们有相同的结点间距和质点分布。这些晶列组称为 等向晶列组，其方向用符号<mnp>表示。 如<100>=[100]、[100]、[010]、[010]、[001]、[001]共6个 晶向；
• 由于金刚石结构的对称性，每一类型的晶面组有着相同的面 间距、面密度和质点分布，称其为等同晶面。按规定用(hkl) 表示晶面。每一种晶面是一个族，用{hkl}表示族。在立方晶 系中，各族包括的晶面为：{100}含 6 个等同晶面，{110}含 有12 个等同晶面，{111}含有 8 个等同晶面。 • 如 {100}=(100)、(100)、(010)、(010)、(001)、(001)共六个面； • 晶向是指晶列组的排列方向，用符号[mnp]表示晶向，其中 m、n、p 称为晶向指数。在一些晶体中，有些晶列组是不同 的，但它们有相同的结点间距和质点分布。这些晶列组称为 等向晶列组，其方向用符号<mnp>表示。 • 如<100>=[100]、[100]、[010]、[010]、[001]、[001]共 6 个 晶向；
硅的面心立方晶系中的一些重要的晶面及密勒指数 [112] [001] (110) (100) [111] [oi0] [010] 110] [110 [100] y 111
硅片的主、次定位面 为确定晶片的晶向和导电类型，硅 片上一般都有若干定位面。 最大的边称为主 平面，在自动化 主平面 主平面 工艺设备中用它 45 来对晶体机械定 位，还可以为晶 次平面 体相关器件确定 {111)N型 {111)P型 晶向。其他较小 的平面称为次平 面，用来识别材 主平面 主平而 料的晶向和导电 次平面 90 类型 4-+ 次平面 (100N型 {100,P型
• 硅片的主、次定位面 为确定晶片的晶向和导电类型，硅 片上一般都有若干定位面。 最大的边称为主 平面，在自动化 工艺设备中用它 来对晶体机械定 位，还可以为晶 体相关器件确定 晶向。其他较小 的平面称为次平 面，用来识别材 料的晶向和导电 类型
硅原子在晶格结构中各向异性排列。使得材料的 特性（如杨氏模量、迁移率和压阻系数）以及硅 的化学腐蚀速率通常都表现出对方向的依赖性 。 硅晶体本身的各向异性是其各向异性腐蚀特性的 几何基础。 三个典型晶向的硅晶格的横截面图 晶面 100; {1103 111} →X 晶格 俯视图
• 硅原子在晶格结构中各向异性排列。使得材料的 特性（如杨氏模量、迁移率和压阻系数）以及硅 的化学腐蚀速率通常都表现出对方向的依赖性。 硅晶体本身的各向异性是其各向异性腐蚀特性的 几何基础。 三个典型晶向的硅晶格的横截面图