元素鉴别( Identification) Survey of In foil with B crystal 60000 01s 40000 In MnN C 1s B 1s 30000 O KLL Si 2s Si 2p Ar 2p 0 11001000900800700600500400 00 Binding Energy (ev) t/ CountsFWHM/ev」 In MN1 752.79 28.00 813.00 854.09 Peak Table 653001418274 O 1s 54500 7507.1 460.00 445.00 436.00 1075.64 2.57 C 1s 9500 284.00 2710018711.03 3.66 242.00 05.27 183.00 109842 14600 1181088 10000 95.00 1429243 ◎中国荤术大 University of seienee and Technology ot china
元素鉴别（Identification） Survey of In foil with B crystal 0 10000 20000 30000 40000 50000 60000 70000 80000 1100 1000 900 800 700 600 500 400 300 200 100 0 Counts / s Binding Energy (eV) In MNN O KLL In 3s In 3p3 O 1s In 3d C 1s Ar 2p B 1s Si 2s Si 2p Name Start BE Centre BE End BE Height / Counts FWHM / eV In MN1 1099.00 1084.00 1066.00 8550.29 9.54 O KL1 989.00 974.00 961.00 1752.79 7.60 In 3s 841.00 828.00 813.00 1854.09 5.08 In 3p 676.00 666.00 653.00 14182.74 4.42 O 1s 545.00 531.00 521.00 7507.12 3.37 In 3d 460.00 445.00 436.00 61075.64 2.57 C 1s 295.00 284.00 271.00 18711.03 3.66 Ar 2p 251.00 242.00 232.00 2805.27 3.52 B 1s 195.00 188.00 183.00 1098.42 2.76 Si 2s 158.00 152.00 146.00 11810.88 2.99 Si 2p 106.00 100.00 95.00 14292.43 2.58 Peak Table
52、化学态分析 元素化学态分析是XPS的最主要的应用之 元素化学态分析的情况比较复杂,涉及到的信息 比较多,有时尚需要对谱图做拟合处理 XPS常被用来作氧化态的测定和价态分析以及研 究成键形式和分子结构。化学位移信息对于官能 团、分子化学环境和氧化态分析是非常有力的工 具 XPS光电子谱线的位移还可用来区别分子中非等 效位置的原子。 ◎中国荤术大 University of seienee and Technology ot china
5.2、化学态分析 元素化学态分析是XPS的最主要的应用之一 元素化学态分析的情况比较复杂，涉及到的信息 比较多，有时尚需要对谱图做拟合处理 XPS常被用来作氧化态的测定和价态分析以及研 究成键形式和分子结构。化学位移信息对于官能 团、分子化学环境和氧化态分析是非常有力的工 具。 XPS光电子谱线的位移还可用来区别分子中非等 效位置的原子
化学态分析 依据: 化学位移 2.俄歇参数、化学状态图 3.震激峰、多重分裂等伴峰结构 4.价带谱结构 工具: 谱图手册: XPS Handbook 知识库: Avantage knowledge base web数据库:http://srdata.nistgov/xps/ ◎中国荤术大 University of seienee and Technology ot china
化学态分析 依据： 1. 化学位移 2. 俄歇参数、化学状态图 3. 震激峰、多重分裂等伴峰结构 4. 价带谱结构 工具： 谱图手册：XPS Handbook 知识库：Avantage knowledge base Web数据库：http://srdata.nist.gov/xps/
521、化学位移分析 化学位移与原子上的总电荷有关(价电荷减少→ 结合能E增加) ■配位体的数目 ■配位体的电负性 ■形式氧化态 除少数元素化学位移较小外,大部分元素的单质 态、氧化态与还原态之间都有明显的化学位移。 如C1s:TiC(281.7eV),石墨(284.5eV),碳酸盐 (~290eV) 化学态的分析主要依赖谱线能量的精确测定。对 绝缘样品应进行精确的静电荷电校正。 ◎中国荤术大 University of seienee and Technology ot china
5.2.1、化学位移分析 化学位移与原子上的总电荷有关（价电荷减少→ 结合能EB增加） ◼ 配位体的数目 ◼ 配位体的电负性 ◼ 形式氧化态 除少数元素化学位移较小外，大部分元素的单质 态、氧化态与还原态之间都有明显的化学位移。 如C1s：TiC(281.7eV)，石墨(284.5eV)，碳酸盐 (～290eV) 。 化学态的分析主要依赖谱线能量的精确测定。对 绝缘样品应进行精确的静电荷电校正
521、化学位移分析 Ti及TiO2中2p3峰的峰位及2p12和2p32之间的距离 2p SINDING ENERGY ev BINDING ENERGY e ■化学环境的变化将使一些元素的光电子谱双峰间的距 离发生变化,这也是判定化学状态的重要依据之 ◎中国荤术大 University of seienee and Technology ot china
5.2.1、化学位移分析 Ti及TiO2中2p3/2峰的峰位及2p1/2和2p3/2之间的距离 ◼ 化学环境的变化将使一些元素的光电子谱双峰间的距 离发生变化，这也是判定化学状态的重要依据之一