511、数据采集-全扫描谱( Survey scan) 对于一个化学成分未知的样品,首先应作全扫描 谱,以初步判定表面的化学成分。在作XPS分析时, 全扫描谱能量范围一般取0~1200eV,因为几乎所 有元素的最强峰都在这一范围之内 通过样品的全扫描谱,在一次测量中我们就可检 出全部或大部分元素。 由于各种元素都有其特征的电子结合能,因此在 能谱中有它们各自对应的特征谱线。所以可根据 这些谱线在能谱图中的位置即可鉴定元素种类。 ◎中国荤术大 University of seienee and Technology ot china
5.1.1、数据采集-全扫描谱(Survey scan) 对于一个化学成分未知的样品，首先应作全扫描 谱，以初步判定表面的化学成分。在作XPS分析时， 全扫描谱能量范围一般取01200eV，因为几乎所 有元素的最强峰都在这一范围之内。 通过样品的全扫描谱，在一次测量中我们就可检 出全部或大部分元素。 由于各种元素都有其特征的电子结合能，因此在 能谱中有它们各自对应的特征谱线。所以可根据 这些谱线在能谱图中的位置即可鉴定元素种类
般解析步骤 1.因C,O是经常出现的,所以首先识别C,O的光电子谱线, Auger线及属于C,O的其他类型的谱线 2.其次鉴别样品中主要元素的强谱线和有关的次强谱线, 利用X射线光电子谱手册中的各元素的峰位表确定其他强 峰对应的元素,并标出其相关峰,注意有些元素的个别 峰可能相互干扰或重叠; 3.最后鉴别剩余的弱谱线,假设它们是含量低的未知元素 的主峰(最强谱线); 4.对于p,d,f谱线的鉴别应注意它们一般应为自旋双线 结构,其双峰间距及峰高比一般为一定值(有助于识别 元素)。p峰的强度比为1:2;饯线为2:3;∫线为3:4 ◎中国荤术大 University of seienee and Technology ot china
一般解析步骤 1. 因C, O是经常出现的，所以首先识别C, O的光电子谱线， Auger线及属于C, O的其他类型的谱线； 2. 其次鉴别样品中主要元素的强谱线和有关的次强谱线， 利用X射线光电子谱手册中的各元素的峰位表确定其他强 峰对应的元素，并标出其相关峰，注意有些元素的个别 峰可能相互干扰或重叠； 3. 最后鉴别剩余的弱谱线，假设它们是含量低的未知元素 的主峰（最强谱线）； 4. 对于 p，d，f 谱线的鉴别应注意它们一般应为自旋双线 结构，其双峰间距及峰高比一般为一定值（有助于识别 元素） 。p峰的强度比为1:2；d线为2:3；f线为3:4
Ps谱圜中的元素鉴 O 1 OKLL A C Is Cu LMM auger NIs CI 2p Cu 3s Cu 3p Binding Energy(ev) ◎中国荤术大 University of seienee and Technology ot china
XPS谱图中的元素鉴别 Cu 2p O KLL Auger O 1s N 1s C 1s Cu LMM Auger Cu 3p Cu 3s Cl 2p
512、数据采集高分辨谱( Detail scan) 对感兴趣的几个元素的峰,可进行窄区域高分辨细扫描。 目的是为了获取更加精确的信息,如结合能的准确位置, 鉴定元素的化学状态,或为了获取精确的线形,或者为了 定量分析获得更为精确的计数,或为了扣除本底或峰的分 解或退卷积等数学处理。 FIs 800 600 400 200 □from275 ev up to300cV 口from675 ev up to700eV ◎中国荤术大 University of seienee and Technology ot china
5.1.2、数据采集-高分辨谱(Detail scan) 对感兴趣的几个元素的峰，可进行窄区域高分辨细扫描。 目的是为了获取更加精确的信息，如结合能的准确位置， 鉴定元素的化学状态，或为了获取精确的线形，或者为了 定量分析获得更为精确的计数，或为了扣除本底或峰的分 解或退卷积等数学处理
氟处理的聚合物例子 F 1s C-C-F C-F C-o CF-CF C-C 人人人入 F KLL 296292288284280 0 1s C1s F 2s 1000800600400200 Binding Energy (ev) ◎中国荤术大 University of seienee and Technology ot china
氟处理的聚合物例子