薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials Nanotechnology 北京科技大学材料科学学院唐伟忠 62332475 E-mai wztang@mater.ustb.edu.cn 课件下载网址:wztangteaching(@sina.com 下载密码 123456
薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology 北京科技大学材料科学学院 唐伟忠 Tel: 6233 2475 E-mail: wztang@mater.ustb.edu.cn 课件下载网址： wztang_teaching@sina.com 下 载 密 码： 123456
第六讲 薄膜材料制备的等离子体辅助CV方法 Preparation of thin films by plasma enhanced CVD process
第六讲 薄膜材料制备的等离子体辅助CVD方法 Preparation of thin films by plasma enhanced CVD process
提要 ◆等离子体的一般性质 ◆等离子体辅助CVD的机理和特 ◆等离子体辅助的CVD方法
提 要 ◆ 等离子体的一般性质 ◆ 等离子体辅助CVD的机理和特点 ◆ 等离子体辅助的CVD方法
等离子体和等离子体中的微观过程 放电击穿后,气体成为具有一定导电能力的等 离子体,它是一种由离子、电子及中性原子和原子 团组成,而宏观上对外呈现电中性的物质存在形式 等离子体中电子碰撞参与的主要微观过程 电子与气体分子的弹性碰撞XY+e→XY+e (使气体分子的动能增加) 电子与气体分子的非弹性碰撞 XY+e→XY*+e 激发 XY+e→X+Y+e 分解 XY+e→XY++2e 电离 (使气体分子的内能增加)
放电击穿后，气体成为具有一定导电能力的等 离子体，它是一种由离子、电子及中性原子和原子 团组成，而宏观上对外呈现电中性的物质存在形式 等离子体和等离子体中的微观过程 等离子体中电子碰撞参与的主要微观过程 电子与气体分子的弹性碰撞 电子与气体分子的非弹性碰撞 激发 分解 电离 XY+eXY+e （使气体分子的动能增加） XY+eXY*+e XY+eX+Y+e XY+e XY++2e （使气体分子的内能增加）
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各种等离子体 的电子温度与 等离子体密度 PECVD使用的等离 子体多为辉光放电 等离子体