第七讲 薄膜材料的微观组织 Microstructures of thin films
第七讲 薄膜材料的微观组织 Microstructures of thin films
提要 ◆薄膜的形核理论 ◆连续薄膜的形成 ◆薄膜微观结构的形成 ◆非晶薄膜、薄膜织构和外延薄膜 ◆薄膜的应力和附着力
提 要 ◆ 薄膜的形核理论 ◆ 连续薄膜的形成 ◆ 薄膜微观结构的形成 ◆非晶薄膜、薄膜织构和外延薄膜 ◆ 薄膜的应力和附着力
(111NaCl晶面上Ag的形核和薄膜生长过程 图中的数字指薄膜 的名义厚度
(111) NaCl晶面上Ag的形核和薄膜生长过程 图中的数字指薄膜 的名义厚度
薄膜非自发形核核心的示意图 气相 、心玉 扩量 o 8 薄膜一定是经由非自发形核过程凝结出的新物质
薄膜非自发形核核心的示意图 薄膜一定是经由非自发形核过程凝结出的新物质
薄膜沉积过程简 ■薄膜有特有的组织形态 ■其生长过程也可被分为两个阶段:新相的形核 薄膜的生长 形核:气态原子、分子在衬底表面开始凝聚 ◆形成一些细小、可运动的原子团 66 ◆小岛不断接受新的原子,合并而长大 ◆新的表面又会形成新的小岛 ◆这一合并的过程达到数十纳米的时候才告结束 ◆孤立的小岛相互连接成片,只留下一些孤立的 孔洞和沟道
薄膜沉积过程简介 ◼ 薄膜有特有的组织形态 ◼ 其生长过程也可被分为两个阶段：新相的形核 、薄膜的生长 形核：气态原子、分子在衬底表面开始凝聚 ◆ 形成一些细小、可运动的原子团 ⎯⎯ “岛” ◆ 小岛不断接受新的原子，合并而长大 ◆ 新的表面又会形成新的小岛 ◆ 这一合并的过程达到数十纳米的时候才告结束 ◆ 孤立的小岛相互连接成片，只留下一些孤立的 孔洞和沟道