986 7.3.3质量敏感型有毒有害气体传感器研究 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 7.3.3 质量敏感型有毒有害气体传感器研究
986 主要内容 一、概述 二、HBA聚合物SAW传感器制备与气敏特性 三、集成式SAW传感器构建 四、结论 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 主 要 内 容 一、概述 二、HBA聚合物SAW传感器制备与气敏特性 三、集成式SAW传感器构建 四、结论
概述 1.1有毒有害气体检测的必要性 臭死了」 毒剂 爆炸物 有机硫 对痕量有毒有害气体的检测势在必行！！ 气体传感器是有毒有害气体的检测的关键部分 电子科技大学 敏席材料与传廊器课程组 制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 一、概述 1.1 有毒有害气体检测的必要性 对痕量有毒有害气体的检测势在必行！！ 气体传感器是有毒有害气体的检测的关键部分 毒剂 爆炸物 有机硫
概述 986 1.2典型气体传感器 Gf 聚合物 。半导体气体传感器 n 接触燃烧式气体传感器 p-Si 。电化学式气体传感器 工作地整对性电餐 红外吸收型气体传感器 s考光甲抗特正吸 速片收滤液片 声波气体传感器(QCM SAW) 红外 光西 探测光 国际理论化学与应用化学学会(IUPAC)将其归类于质量敏感型传感器 电子科技大学敏席材料与传廊器课程组 制
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 1.2 典型气体传感器 ❖ 半导体气体传感器 ❖ 接触燃烧式气体传感器 ❖ 电化学式气体传感器 ❖ 红外吸收型气体传感器 ❖ 声波气体传感器（QCM SAW） ❖ … … 国际理论化学与应用化学学会（IUPAC）将其归类于质量敏感型传感器 一、概述
概述 1.3声波质量敏感型传感器 声波传感器是以压电晶振为换能器，进行物理、化学和生物的性质或成份检测、并 将声波信号转换成电信号的装置。具有体积小、灵敏度高、抗干扰能力强等优点。 声波传感器 两对负载在晶片表面的 对负载在晶片两面的 叉指电极组成 金属激励电极组成 声表面波 体声波 SAW FPW… QCM 声表面波 石英晶体微天平 SAW (Surface acoustic wave) QCM (Quartz Crystal Microbalance) 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组 制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 声波传感器是以压电晶振为换能器，进行物理、化学和生物的性质或成份检测、并 将声波信号转换成电信号的装置。具有体积小、灵敏度高、抗干扰能力强等优点。 声波传感器 声表面波 SAW FPW… 体声波 QCM 一对负载在晶片两面的 金属激励电极组成 石英晶体微天平 QCM（Quartz Crystal Microbalance） 两对负载在晶片表面的 叉指电极组成 声表面波 SAW（Surface acoustic wave） 1.3 声波质量敏感型传感器 一、概述