第二章 电子显微分析 Electron Micro-Analysis
第二章 电子显微分析 Electron Micro-Analysis
研究对象 ≤微结构与显微成分 s微结构与性能的关系 s微结构形成的条件与过程机理 φ材料的性能由微结构所决定,人们可通过控 制材料的微结构,使其形成预定的结构,从 而具有所希望的性能
❖ 研究对象 微结构与显微成分 微结构与性能的关系 微结构形成的条件与过程机理 ❖ 材料的性能由微结构所决定，人们可通过控 制材料的微结构，使其形成预定的结构， 从 而具有所希望的性能
电子显微分析是利用聚焦电子束与试样物质相互作 用产生各种物理信号,分析试样物质的微区形貌、 晶体结构和化学组成。 方法: 令1、透射电镜(TEM) 令2、扫描电镜(SEM) 令3、电子探针(EMPA)
❖ ❖ 电子显微分析是利用聚焦电子束与试样物质相互作 用产生各种物理信号，分析试样物质的微区形貌、 晶体结构和化学组成。 ❖ 方法： ❖ 1、透射电镜（TEM） ❖ 2、扫描电镜（SEM） ❖ 3、电子探针（EMPA）
北学显微镜 优点:简单,直观。 局限性:分辨本领低(0.2微米);只能观察表面形 貌;不能做微区成分分析。 化学分析 优点:简单,方便。 局限性:只能给出试样的平均成分,不能给出所含 元素随位置的分布;不能观察象 X射线衍射: 优点:精度高;分析样品的最小区域mm数量级; 局限性:平均效应;无法把形貌观察与晶体结构分析 结合起来
光学显微镜 优点： 简单，直观。 局限性：分辨本领低（0.2微米）；只能观察表面形 貌；不能做微区成分分析。 化学分析 优点： 简单， 方便。 局限性：只能给出试样的平均成分，不能给出所含 元素随位置的分布；不能观察象 。 X射线衍射: 优点：精度高；分析样品的最小区域mm数量级； 局限性：平均效应；无法把形貌观察与晶体结构分析 结合起来
小电子显微分析特点: 1、不破坏样品,直接用陶瓷等多晶材料。 令2、是一种微区分析方法,了解成分结构 的微区变化。 令3、灵敏度高,成像分辨率高,为0.2 03nm,能进行nm尺度的晶体结构及化学组 成分析。 4、督种电子显微分析仪器日益向多功能 综合性发展,可以进行形貌、物相、晶体结 构和化学组成等的综合分析
❖电子显微分析特点： ❖ 1、不破坏样品，直接用陶瓷等多晶材料。 ❖ 2、是一种微区分析方法，了解成分-结构 的微区变化。 ❖ 3、灵敏度高，成像分辨率高，为0.2- 0.3nm，能进行nm尺度的晶体结构及化学组 成分析。 ❖ 4、各种电子显微分析仪器日益向多功能、 综合性发展，可以进行形貌、物相、晶体结 构和化学组成等的综合分析