§TEM的结构与成像原理 成像原理 ■采用聚集电子束为照明源照射试样，产生 透射电子信号 试样各区域的组织结构不同，透射电子的 强度不同，其与试样相应区域形貌、组织 结构一一对应. ■反映各微区组织结构特征的透射电子束， 经多级聚集放大，在荧光屏上，各微区电子 强度分布再现试样组织结构形貌
§TEM的结构与成像原理 一、 成像原理 采用聚集电子束为照明源照射试样,产生 透射电子信号. 试样各区域的组织结构不同,透射电子的 强度不同,其与试样相应区域形貌、组织 结构一一对应. 反映各微区组织结构特征的透射电子束, 经多级聚集放大,在荧光屏上,各微区电子 强度分布再现试样组织结构形貌
JEM-2100F型场发射枪电镜 加速电压200KV 可连续设置加速电压 热场发射枪 晶格分辨率1.9A 点分辨率2.4A 最小电子束直径1nm 能量分辨率约lev 倾转角度=士20度 B=±20度 JEM-2100透射电镜 加速电压200KV LaB6灯丝 点分辨率1.94A
JEM-2100F型场发射枪电镜 JEM-2100透射电镜 加速电压200KV LaB6灯丝 点分辨率 1.94Å 加速电压200KV 可连续设置加速电压 热场发射枪 晶格分辨率 1.9Å 点分辨率 2.4Å 最小电子束直径1nm 能量分辨率约1ev 倾转角度α=±20度 β=±20度
二、 TEM结构-一一电子光学系统 光源 电子镜 聚光镜 聚光镜 试样 试样 物镜 物镜 中间象 中间象 投影镜 目镜 毛玻璃 照相底板
二、 TEM结构---电子光学系统
Structure of a TEM Example TEM schematic One of many types of TEMs Filament PHILIPS Wehnelt "Gun" Anode 照明系 Condensor aperture 1 8日 Gun deflectors (may be adustable by user depending on TEM type) 统 Condensor lens 1 Condensor stigmator Fixed aperture Condensor lens 2 Beam deflectors Condensor aperture 2 Sample holder Objective stigmator Objective lens upper Objective lens lower 品 Objective aperture Selected area aperture Image deflectors 室 (or immediate aperture) Intermediate lens Diffraction stigmator 成像系 11 Projector lens 1 Projector lens 2 统/图像 CCD camera Beam axis 观察 Viewing screen 9
9 Structure of a TEM 照明系 统 成像系 统/图像 观察 样品 室
Condenser aperture Objective aperture Selected area aperture 10 @任辛
10 Condenser aperture Objective aperture Selected area aperture