第6章电子探针X射线显微分析仪
第6章 电子探针X射线显微分析仪
6.1电子探针的分析原理和构造 6.1.1分析原理 入射电子激发样品中元素产生特征X射线。 根据特征X射线的能量或波长鉴别元素的方法称为 定性分析。 hc λ= E hc E 根据特征X射线的相对强度确定各种元素的相对含 量的方法称为定量分析
6.1 电子探针的分析原理和构造 6.1.1分析原理 入射电子激发样品中元素产生特征X射线。 根据特征X射线的能量或波长鉴别元素的方法称为 定性分析。 根据特征X射线的相对强度确定各种元素的相对含 量的方法称为定量分析。 E hc hc E
6.1电子探针的分析原理和构造 6.1.2构造 电子探针主要有电子 电子枪 光学系统（镜筒） 、 亮压电源 聚光镜1 X射线谱仪和信息记 透镜电源 录、显示系统，如图 豪光镜2 计算机数 据处理等 光学显微镜① 6-1所示。 计数电路 扫描电子显微镜是以 电子检测器 计数率仪 样品 X射线像 能谱仪为主要配制。 X射线谱仪 显示 电子探针以波谱议为 抽真空 放大器 主要配置，从而要有 电子像 光学显微镜来确定分 析点
6.1 电子探针的分析原理和构造 6.1.2构造 电子探针主要有电子 光学系统（镜筒）、 X射线谱仪和信息记 录、显示系统，如图 6-1所示。 扫描电子显微镜是以 能谱仪为主要配制。 电子探针以波谱议为 主要配置，从而要有 光学显微镜来确定分 析点
6.1电子探针的分析原理和构造 1.电子光学系统 a)基本与扫描电镜相同； b)增加光学显微镜和要求比扫描电镜更大的入 射电子束流以满足波谱议工作的要求。 c)电子探针的样品室结构与扫描电子显微镜样 品室类同。考虑到电子探针定量分析要求在完 全相同的入射激发条件下，对未知样品和待分 析元素的标样测定特征谱线的强度，样品台需 要可同时容纳多个样品座，分别放置未知样品 和标样
6.1 电子探针的分析原理和构造 1. 电子光学系统 a）基本与扫描电镜相同； b）增加光学显微镜和要求比扫描电镜更大的入 射电子束流以满足波谱议工作的要求。 c）电子探针的样品室结构与扫描电子显微镜样 品室类同。考虑到电子探针定量分析要求在完 全相同的入射激发条件下，对未知样品和待分 析元素的标样测定特征谱线的强度，样品台需 要可同时容纳多个样品座，分别放置未知样品 和标样
6.1电子探针的分析原理和构造 d)分析点精确的确定 先利用能发出荧光的材料置于电 子束轰击下，这时就能观察到电 灯泡 电子窠 子束轰击点的位置，通过样品移 动装置把它调到光学显微镜目镜 反射物就 的十字线交叉点上。然后用同样 方法，把样品上待分析点置于光 学显微镜的目镜十字线交叉点上， 对光学显微镜调焦，使待分析点 肉眼目镜 在十字线交叉点上清晰成像：这 样就保证电子束正好轰击在待分 析点上，同时也保证了分析点处 于X射线分光谱仪的正确位置（罗 兰圆)上。 样品 图6-2反射式物镜同轴光学观察系统
6.1 电子探针的分析原理和构造 d）分析点精确的确定 先利用能发出荧光的材料置于电 子束轰击下，这时就能观察到电 子束轰击点的位置，通过样品移 动装置把它调到光学显微镜目镜 的十字线交叉点上。然后用同样 方法，把样品上待分析点置于光 学显微镜的目镜十字线交叉点上， 对光学显微镜调焦，使待分析点 在十字线交叉点上清晰成像；这 样就保证电子束正好轰击在待分 析点上，同时也保证了分析点处 于X射线分光谱仪的正确位置（罗 兰圆）上。 图6-2 反射式物镜同轴光学观察系统