5.1.1工作原理 扫描电子显微镜景深与束发散度的关系 1入射电子束， 入射电子束 B 样品平面1一一 样品平面1 样品平面2一 样品平面2
5.1.1 工作原理 扫描电子显微镜景深与束发散度的关系
5.1.1工作原理 分辨率(do)与有效放大倍率的关系： do(mm)=肉眼分辨率/有效放大倍率 =0.1/有效放大倍率 式中肉眼的分辨率取值为0.1mm。在上述定义中的放大 倍率又称为有效放大倍率
5.1.1 工作原理 分辨率（ d0 ）与有效放大倍率的关系： d0（mm） ＝肉眼分辨率／有效放大倍率 ＝0.1/有效放大倍率 式中肉眼的分辨率取值为0.1mm。在上述定义中的放大 倍率又称为有效放大倍率
表5-1扫描电子显微镜的分辨率和景深 (发散角：B=1X103rad) 景深F;(μm) 放大倍率M 分辨率d,(um) 扫描电子显微镜 光学显微镜 20 5 5000 5 100 1 1000 2 1000 0.1 100 0.7 5000 0.02 20 10000 0.01 10 二 从表中可知，扫描电子显微镜的景深比光学显微镜大得多， 所以它特别适用于粗糙表面的观察和分析
放大倍率M 分辨率d0（μm） 景深Fƒ（μm） 扫描电子显微镜 光学显微镜 20 100 1000 5000 10000 5 1 0.1 0.02 0.01 5000 1000 100 20 10 5 2 0.7 — — 表5-1 扫描电子显微镜的分辨率和景深 （发散角：β = 1×10-3 rad） 从表中可知，扫描电子显微镜的景深比光学显微镜大得多， 所以它特别适用于粗糙表面的观察和分析
5.1.2SEM构造 扫描电子显微镜由电子光学系统 (镜筒)、信号检测放大系统、图 像显示和记录系统以及电源系统和 电子枪灯丝和高压电源 真空系统等部分组成。 ☒☒ 1. 电子光学系统 电子枪 X☒ 聚光镜 扫摸发生器 电子光学系统由电子枪、聚光镜、 一第一亲光镜 扫描线圈、光栏、样品室等部件组 放大控割年 扫损放大器 成，如图5-1(b)所示。 电子收集器 第二隳光镜 光电倍增管 上编转线图、 它的作用与透射电子显微镜不一样， 样品 0 视须战大 下偏转线国、 第三聚光镜 (物黄) 仅仅用来获得扫描电子束，作为使 接真空系烷 电子来 样品 样品产生各种物理信号的激发源。 阴极射线管 样品室 为了获得较高的信息强度和扫描像 (尤其是二次电子像)分辨率，扫 描电子束应具有较高的亮度和尽可 能小的束斑直径。 电子枪：钨丝阴极，LaB。,场发射
5.1.2 SEM构造 扫描电子显微镜由电子光学系统 （镜筒）、信号检测放大系统、图 像显示和记录系统以及电源系统和 真空系统等部分组成。 1．电子光学系统 电子光学系统由电子枪、聚光镜、 扫描线圈、光栏、样品室等部件组 成，如图5-1（b）所示。 它的作用与透射电子显微镜不一样， 仅仅用来获得扫描电子束，作为使 样品产生各种物理信号的激发源。 为了获得较高的信息强度和扫描像 （尤其是二次电子像）分辨率，扫 描电子束应具有较高的亮度和尽可 能小的束斑直径。 电子枪：钨丝阴极 ，LaB6 ，场发射
5.1.2SEM构造 1.电子光学系统 聚光镜系统：由三个聚光镜组成，其作用获得大束流强度 和尽可能小的束斑直径。 扫描系统：以扫描线圈为核心组成的扫描系统，其作用是 提供入射电子束在样品表面上以及阴极射线管电子束在荧 屏上的同步扫描信号；改变入射电子束在样品表面扫描振 幅，以获得所需放大倍率的扫描像。 样品室：样品室中主要部件之一是样品台。它除了能进行 三维空间的移动，还能倾斜和转动，样品台移动范围一般 可达40mm,倾动范围至少±50°左右，转动360°。样品 台还可带有多种附件，例如使样品在样品台上加热、冷却， 或拉伸等，可进行动态观察
5.1.2 SEM构造 1．电子光学系统 聚光镜系统：由三个聚光镜组成，其作用获得大束流强度 和尽可能小的束斑直径。 扫描系统：以扫描线圈为核心组成的扫描系统，其作用是 提供入射电子束在样品表面上以及阴极射线管电子束在荧 屏上的同步扫描信号；改变入射电子束在样品表面扫描振 幅，以获得所需放大倍率的扫描像。 样品室：样品室中主要部件之一是样品台。它除了能进行 三维空间的移动，还能倾斜和转动，样品台移动范围一般 可达40mm，倾动范围至少±50º左右，转动360º。样品 台还可带有多种附件，例如使样品在样品台上加热、冷却， 或拉伸等，可进行动态观察