二、传感器的发展动向 开展基础研究,发现新现象,开发传感器的新 材料和新工艺;实现传感器的集成化与智能化 ◆开发新型传感器 今开发新材料 新工艺的采用 今集成化、多功能化 智能化
二、传感器的发展动向 ❖ 开发新型传感器 ❖ 开发新材料 ❖ 新工艺的采用 ❖ 集成化、多功能化 ❖ 智能化 开展基础研究，发现新现象，开发传感器的新 材料和新工艺；实现传感器的集成化与智能化
1.开发新到传感册 新型传感器包括:①采用新原理;②填补传感器空白 ③仿生传感器等方面。它们之间是互相联系的。 传感器的工作机理是基于各种效应和定律,由此启发 人们进一步探索具有新效应的敏感功能材料,并以此 研制出具有新原理的新型物性型传感器件,这是发展 高性能、多功能、低成本和小型化传感器的重要途径 结构型传感器发展得较早,目前日趋成熟。结构型传 感器,一般说它的结构复杂,体积偏大,价格偏高 物性型传感器大致与之相反,具有不少诱人的优点, 加之过去发展也不够。世界各国都在物性型传感器方 面投入大量人力、物力加强研究,从而使它成为一个 值得注意的发展动向
传感器的工作机理是基于各种效应和定律，由此启发 人们进一步探索具有新效应的敏感功能材料，并以此 研制出具有新原理的新型物性型传感器件，这是发展 高性能、多功能、低成本和小型化传感器的重要途径。 结构型传感器发展得较早，目前日趋成熟。结构型传 感器，一般说它的结构复杂，体积偏大，价格偏高。 物性型传感器大致与之相反，具有不少诱人的优点， 加之过去发展也不够。世界各国都在物性型传感器方 面投入大量人力、物力加强研究，从而使它成为一个 值得注意的发展动向。 1．开发新型传感器 新型传感器包括：①采用新原理；②填补传感器空白； ③仿生传感器等方面。它们之间是互相联系的
2.开发新材料 传感器材料是传感器技术的重要基础,由于材料科学的 进步,人们在制造时,可任意控制它们的成分,从而设 计制造出用于各种传感器的功能材料。用复杂材料来制 造性能更加良好的传感器是今后的发展方向之 (1)半导体敏感材料 (2)陶瓷材料 (3)磁性材料 (4)智能材料 如,半导体氧化物可以制造各种气体传感器,而陶瓷传 感器工作温度远高于半导体,光导纤维的应用是传感器 材料的重大突破,用它研制的传感器与传统的相比有突 出的特点。有机材料作为传感器材料的研究,引起国内 外学者的极大兴趣
传感器材料是传感器技术的重要基础，由于材料科学的 进步，人们在制造时，可任意控制它们的成分，从而设 计制造出用于各种传感器的功能材料。用复杂材料来制 造性能更加良好的传感器是今后的发展方向之一。 2．开发新材料 （1）半导体敏感材料 （2）陶瓷材料 （3）磁性材料 （4）智能材料 如，半导体氧化物可以制造各种气体传感器，而陶瓷传 感器工作温度远高于半导体，光导纤维的应用是传感器 材料的重大突破，用它研制的传感器与传统的相比有突 出的特点。有机材料作为传感器材料的研究，引起国内 外学者的极大兴趣
3.新工艺的聚用 在发展新型传感器中,离不开新工艺的采用。新工 艺的含义范围很广,这里主要指与发展新型传感器 联系特别密切的微细加工技术。该技术又称微机械 加工技术,是近年来随着集成电路工艺发展起来的 它是离子束、电子東、分子束、激光束和化学刻蚀 等用于微电子加工的技术,目前已越来越多地用于 传感器领域 例如利用半导体技术制造出压阻式传感器,利用薄 膜工艺制造出快速响应的气敏、湿敏传感器,日本 横河公司利用各向异性腐蚀技术进行高精度三维加 工,在硅片上构成孔、沟棱锥、半球等各种开头 制作出全硅谐振式压力传感器
在发展新型传感器中，离不开新工艺的采用。新工 艺的含义范围很广，这里主要指与发展新型传感器 联系特别密切的微细加工技术。该技术又称微机械 加工技术，是近年来随着集成电路工艺发展起来的， 它是离子束、电子束、分子束、激光束和化学刻蚀 等用于微电子加工的技术，目前已越来越多地用于 传感器领域。 3．新工艺的采用 例如利用半导体技术制造出压阻式传感器，利用薄 膜工艺制造出快速响应的气敏、湿敏传感器，日本 横河公司利用各向异性腐蚀技术进行高精度三维加 工，在硅片上构成孔、沟棱锥、半球等各种开头， 制作出全硅谐振式压力传感器